日立新品發布：高分辨率肖特基場發射掃描電鏡“SU3900SE”、“SU3800SE”系列

　　【中國儀器儀表網 新品發布】近日，“日立高新技術” 發布高分辨率肖特基場發射掃描電鏡“SU3900SE”、“SU3800SE”系列 ，可對大型重型樣品進行納米級高精度和高效觀察。

　　本系列zui大可觀察樣品重量達到 5 kg。此外，通過搭載日立高新技術 SEM*1系列中zui大級別的馬達臺，可以對直徑 300 mm、高度 130 mm 的大型樣品進行觀察，從而減少切割樣品等加工工序，實現高效的觀察工作。并且，新產品在可以進行大型重型樣品觀察的同時，還兼具馬達臺 5 軸(左右、前后、上下、傾斜、旋轉) 移動。此外，通過搭載相機導航功能，可以將一系列單獨拍攝的圖像拼接在一起從而觀察樣品全貌，支持觀察大型樣品時的視野搜索*2，有助于提高操作性。

　　肖特基場發射掃描電鏡“SU3900SE”、“SU3800SE”系列 主要特點

　　(1) 大型重型樣品的大范圍觀察

　　通過對大型重型樣品觀察的馬達臺，日立高新技術的大型SEM實現了對直徑300 mm、高130 mm、重量5 kg樣品的觀察。此外，產品既可搭載大型重型樣品又具備5軸移動的功能。

　　(2) 使用光學相機圖像的進行簡單的大范圍移動

　　使用光學相機導航系統可覆蓋整個馬達臺的移動范圍，輕松確定樣品位置。此外，光學相機圖像也可以隨馬達臺而旋轉，從而輕松移動樣品位置，并在 SEM 圖像中順利觀察到樣品位置。

　　(3) 獲取大量數據時減輕用戶負擔

　　配備可選功能“EM Flow Creator”，可視需要組合倍率和馬達臺位置等條件設置、焦距及對比度等調整功能，創建一系列觀察菜單。通過執行創建的菜單，可進行自動觀察，有助于減輕用戶的操作負擔，并在連續圖像采集過程中節省人力。